品名	Emma 飛針測試機(AL系列-垂直式-4手臂)
型號	E4M6151G-AL / E4H6151G-AL / E4S6151G-AL
標準型號 / 高精度型號 / 超高精度型號 E4M6151G-AL / E4H6151G-AL / E4S6151G-AL 直立式自動上下料型EMMA。 將基板放置在上料機上，吸盤自動將基板吸取後，搬送到傳送導軌進行搬運。 運輸導軌上的基板到達設備中心的檢查部後開始進行檢測。 檢測結束後基板迅速搬運到下料機，並將良品基板和不良品基板被分別放入各自的存放托架，無需擔心弄混。
產品規格
型號	E4M6151G-AL	E4H6151G-AL	E4S6151G-AL
最大測試範圍	610×510 mm	610×510 mm	610×510 mm
最大搬運基板尺寸	620×520 mm	620×520 mm	620×520 mm
飛針探頭數目	2前、2後	2前、2後	2前、2後
最小基板尺寸	60×100 mm *1	60×100 mm *1	60×100 mm *1
最小搬運基板尺寸	100×100 mm	100×100 mm	100×100 mm
最大基板厚度	0.5~5 mm *2	0.5~5 mm *2	0.5~5 mm *2
最大可搬運重量	3 kg *3	3 kg *3	3 kg *3
夾板區域	3~10 mm	3~10 mm	3~10 mm
不可檢查區域	距離夾板區域 1 mm *4	距離夾板區域 1 mm *4	距離夾板區域 1 mm *4
重複精度 *5	±4 µm	±4 µm	±2 µm
解析度	2 µm	2 µm	1 µm
最小PAD間距	100 µm *6	50 µm *6	50 µm *7
最小PAD尺寸	30 µm *8	20 µm *8	15 µm *9
測試電壓	開路測試：0~10V 短路測試：250V *10	開路測試：0~10V 短路測試：250V *10	開路測試：0~10V 短路測試：250V *10
測試電流(開路測試)	2.5 µA ~ 150 mA	2.5 µA ~ 150 mA	2.5 µA ~ 150 mA
夾板方式	自動夾板	自動夾板	自動夾板
CCD	2前、2後	2前、2後	2前、2後
印表機	外接	外接	外接
空壓規格 (壓力)	0.5 MPa	0.5 MPa	0.5 MPa
空壓規格 (容量)	150 ℓ/min.	150 ℓ/min.	150 ℓ/min.
電源 *11	單相AC200~240V 50/60Hz (15A)	單相AC200~240V 50/60Hz (15A)	單相AC200~240V 50/60Hz (15A)
重量	1100 kg *12	1150 kg *12	1150 kg *12
尺寸
*1 不用上板機，可以在檢查部直接將基板夾住的尺寸。*2 基板翹曲為包括基板厚度在在5 mm以內。最小基板厚度限制在保持垂直固定時沒有不翹曲或彎曲可以自立的程度。*3 關於上料部基板的吸取部，必須要可以讓10處吸盤吸附的地方。*4 用於針式探針。 與其他探針不同。*5 根據鐳射測量的結果。*6 使用 (T96MC-PB-0R40) 探針時。*7 使用 (T98MC-PB-0R80) 探針時。*8 使用（T96MC-PB-0B00) 探針時。*9 使用（T98MC-PB-0B00) 探針時。*10 500 V，1000 V 選購。*11 電源需求:當機台啟動時將有十倍的啟動電流通過，請選擇不會因為啟動電流而造 成異常的電源斷路器。*12 僅測試機本體重量。上料機重量：580 kg，下料機重量：580 kg。